• 名称：室温手动探针台

• 型号：PSM-4

• 品牌：Adgarde

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特点：

稳定的双位移调节系统

■ 样品座可以放置8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±50mm的移动行程，并且样品座

 本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试和换样更加便捷。

■ 探针臂采用磁力吸附，可任意摆放，并且探针臂本身可以进行三维方向微调，操作方便便捷，扎针准确，四个探针臂

 的探针可以扎到样品的任意位置极小的漏电性

■ 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线

■ 探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电

样品座可以放置12英寸的晶圆样品，通过移动样品座下 面的滑台，可以实现X-Y轴±50mm的超大移动行程，使得样 品测试和换样更加便捷；样品座本身可以进行三个轴上 （X-Y-Z）的精细调节，配合探针臂的移动，可以使得四个 探针扎到样品的任意位置；样品座外层镀金，电导率性能 好；多孔吸附，对各种形状的样品固定都非常稳定，同时 又不会造成对测量的干扰。

 CCD放大倍数可达180倍，并附有环形光源，屏幕分辨***， 使得图像清晰可见，可实现3μm电极点的扎针。并且CCD支架有 工作和非工作两种摆放位置。

 PSM-4室温手动探针台安装上永磁铁可以和M91快速霍尔测量仪配套使用，M91集成了电压表、电流源、矩阵开关、数据采集软 件、欧姆接触检查软件、霍尔分析软件，可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要的霍尔参数， 探针台应用于霍尔测量，无需将线连接到样品上（在传统霍尔测量系统需要连接），也可以探测直径高达51mm的完整或者部分 晶片，无需再将晶片切成块状结构。

   探针台生产制造厂家，研发质量检测***。

    安装调试和售后服务***时间响应。

     承诺期内发货，送货到手。